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第390章 五步光刻法（第1页）

1992年3月

新华社全文播发“为改革开放保驾护航”

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全彩会议室

今天开会来的人特别全，因为公司到了一个新的节点。

在会议桌中央，摆放着几块10.4寸的tft-lcd样品。这几块样品，是用产线设备跑出来的。lcd生产线，终于彻底跑通了一次。

当然了，这个跑通，不等于马上就能投产。因为还有产品质量问题，良率问题。但剩下的事情相对就好办了，大家慢慢磨时间吧。

“样品给骆师姐送去了吗？”

“送去了，她们的电路板已经准备得差不多了，估计过两天，成品就会送回来。”

会议室的众人，都对第一块可以显示图案的lcd成品，期盼着。

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会议的重点，永远都是良率问题。

odf工序，被引入以后，按理说tft-lcd的良率，不应该有什么问题了。剩下的都是很普通的半导体加工工序。

光电虽然没有晶圆的生产经验，但led的生产经验不算少了。但实际情况，并非如此，lcd的尺寸，实在是太大了。

“小成，你那边的五次光刻技术，是否成熟了？”

王青山是产线调试的技术负责人，从现在开始，产率，良率的问题，主要就是他的事情了。

“怎么了？”

“产品的良率不足，也跟现在tft的加工工序次数过多有关系。”

tft的加工工艺，与晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻，成膜，清洗，涂光阻胶，曝光，显影，烘干，蚀刻，去光阻胶，检查，都要走一遍。

目前的tft加工工艺，采用的是七次光刻的工艺。也就是基板需要通过七次光刻，才能完成加工。

而在晶圆芯片的加工过程中，几十次的光刻，是最少的了。这也是为什么晶圆厂的成品率很难提高的缘故。步骤越多，总成品率就越低。

“小成，如果你有好的技术，就赶紧拿出来吧。”

白学成也在一边加入了战团，进行劝说。

“好吧。”

成永兴犹豫了一下，但还是妥协了。这个技术，他是准备保留到下一代的。在历史上，五步光刻法，要过几年才会出现。

会议很快就转向了其它议题。

例如国产原料的送检等。但这些不影响主要进度。

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